主要用途：


激光封焊手套箱用于微組裝模塊的氣密封裝。微組裝由于使用到裸芯片封裝，微互連的引腳也暴露在外，所以大多需要對組裝模塊進行氣密封裝。激光封焊是目前一種新型密封方式，他的適用性強，密封效果好。手套箱可以實現密封前的預烘，保證密封件內部的水氧含量滿足各類標準的要求。


性能指標：


1）5W 至450W平均功率


2）激光波長: 1064nm


3）峰值功率10KW


4）脈沖時間0.2到150ms


5）輸出穩定性: ±3%


6）光纖內徑為400μm或600μm


7）工作臺行程：XY軸200200mm ，Z軸100mm


8）工作臺定位精度：20μm，重復精度5μm


9）手套箱內環境：氧含量優于1ppm，水含量優于1ppm